在真空系統中，水蒸氣是影響抽真空裝置抽氣速度比較大的障礙，水汽深冷捕集泵可以快速有效捕捉系統殘余空氣中65%到95%的水蒸氣，減少抽水蒸汽所耗費的時間，效率高達80%。若在現有的抽真空系統中加裝深冷捕集泵，可以增加生產能力30%到100%，還能改善鍍膜品質。
在高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但機械泵抽除殘余氣體的能力差，時間長，而且殘余氣體是典型的副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。水汽深冷捕集泵則是解決這類問題的上佳選擇。
在真空系統中，水蒸氣是很大的污染源，因此在要求更高的鍍膜品質中，若能得到更低的蒸汽分壓，可以增強膜層的附著性能，提升鍍膜品質，在蒸鍍各類裝飾材料過程中避免出現色差，在塑膠基板蒸鍍過程中可使角落表面呈均勻平整狀態。
深冷水汽捕集泵為何能加快高真空裝置的抽氣速度并提高真空度?
將一個溫度極低的深冷盤管放置在真空腔室內或者油擴散泵口，根據氣體的低溫冷凝效應，可以迅速使真空系統中的水蒸氣及其它氣體凝結在深冷盤管上，由此可以快速達到降低真空腔室內氣壓的效果，大幅度減少抽真空的時間，同時可使真空度提高半個到一個數量級，因而大大提高生產效率，節約生產成本，所以被稱為真空業界的好幫手，真空鍍膜系統的節能先鋒。
